中科飞测获得发明专利授权：“晶圆检测方法、半导体检测设备及存储介质”

专利摘要：本申请公开了一种晶圆检测方法、半导体检测设备、及非易失性计算机可读存储介质。晶圆检测方法包括：扫描晶圆的第一区域，以获取第一区域内的第一芯片的第一信息；根据第一信息获取标准芯片；根据第一信息及标准芯片检测第一芯片；扫描晶圆的第二区域，以获取第二区域内的第二芯片的第二信息；及根据第二信息及标准芯片检测第二芯片。本申请实施方式的晶圆检测方法及半导体检测设备仅通过扫描晶圆的第一区域以快速获取标准芯片，在使用标准芯片检测待检测芯片时仅需再扫描一次第二区域，从而避免了检测过程中对晶圆的相同区域的重复扫描，能够节省检测时间，提高检测效率。

今年以来中科飞测新获得专利授权132个，较去年同期增加了2.33%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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